JIMA微分辨率测试卡 RT RC-05B

x射线线和空间的微分辨率图，在Si上的金线

采用半导体技术实现了16种不同宽度（3 t m）的精确线与空间微图测试片。如今微聚焦x射线已成为主要的光束尺寸，是调整，设置，检查和维护x射线系统的必要项目。